薄膜制备的喷雾热分解方法

发布时间:2020-03-18 14:48:04   浏览次数:277254
关键词:薄膜制备的喷雾热分解方法
本发明涉及一种薄膜制备的喷雾热分解方法,该方法首先配制所需金属盐溶液,然后经过压缩空气雾化器,使溶液雾化,在载流气体的带动下喷进放置有被加热基板的容器中,雾体经过烘烤后挥发去溶剂并进一步分解沉积在基板上成膜。该方法易于控制化学计量比,具有良好的取向性和外延性、成本低、不需多次镀膜,同时雾化时不发热,而且雾量稳定,不需冷却装置。该方法可制备金属氧化物薄膜。
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